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구자홍 기자의 ‘WORLD NO.1’ 탐방 ②

주성엔지니어링

반도체, LCD 이어 태양전지 장비 또 한번 세계 제패한다

  • 구자홍│동아일보 신동아 기자 jhkoo@donga.com│

주성엔지니어링

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반도체 제조장비 SDCVD

주성엔지니어링

반도체 장비 부문에서 세계시장 점유율 1위를 기록했다.

주성엔지니어링은 한국의 대표적인 전(前)공정 장비업체이지만, 일반 소비자가 제품을 접할 기회가 거의 없어 다소 생경한 것도 사실이다. 주성의 제품을 간단히 소개하자면 반도체와 LCD 등 세계시장을 휩쓸고 있는 첨단 제품을 생산하기 위해 반드시 필요한 전공정 장비를 만들고 있다고 보면 된다.

“반도체 산업은 크게 소자산업, 장비산업, 원재료산업으로 구분할 수 있다. 이 중 장비산업은 전공정 장비, 후공정 장비 및 검사 장비로 분류할 수 있다. 특히 전공정 장비는 첨단기술 집약 산업으로 투자 비중이 반도체 장비 전체의 54%를 차지한다. 미국, 일본이 중심이 되어 세계시장을 주도해오고 있으며, 국내업체들은 후발주자로서 응용연구에 중점을 두어 제품을 개발하고 있다. 세계 반도체 시장에서 한국의 높은 위치를 고려할 때 국내 반도체 주변 산업은 반도체 장비부문 10%, 재료부문 50% 대의 국산화율에 그치고 있으며 세계시장에서의 경쟁력 또한 매우 제한적이다.” -‘탈 추격형 기술혁신체제의 모색’ (송위진·황혜란, 과학기술정책연구원, 2007년)

2000년대 중반까지 미국과 일본이 주도했던 반도체 장비 부문에서 주성은 2006년 세계시장 점유율 1위로 올라서는 기염을 토했다. 미국의 저명한 IT 시장조사기관 가트너(Gartner Dataquest) 조사에 따르면 주성엔지니어링은 2006년 점유율 37.5%로 1위를 기록한 데 이어, 2007년에도 25.8%를 기록하며 수위를 달렸다.

반도체와 디스플레이 장치 산업의 핵심기술인 CVD(Chemical Vapor Depo-sition·화학증착장치) 분야에서 차별화된 기술력을 보유한 주성은 현재도 부동의 국내 1위 점유율을 기록하고 있다.



주성의 반도체 공정장치인 SDCVD (Space Divided Chemical Vapor Deposition·공간 분할 화학증착장치)는 기존 화학증착장치를 대체하는 공정 설비로 0.10마이크론(㎛) 이하의 설계에서 필수적으로 요구되는 공정 기술이다. 신규 반도체 라인 투자는 물론 기존 반도체 라인의 보완 투자를 위해 수요가 늘고 있는 차세대 반도체 장치다.

특히 주성의 SDCVD는 다른 박막 증착 기술과 집적화해 사용하기에 적합할 뿐 아니라, 비교적 두꺼운 두께가 요구되는 공정에 적합하다. 또 200㎜ 300㎜ 웨이퍼 5장을 동시에 처리할 수 있는 ‘세미 배치 타입’(Semi-batch type)으로 설계돼 기존 SDCVD 설비의 생산성이 낮은 한계를 극복할 수 있도록 했다. 즉 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 ‘싱글 타입’(Single type)보다 3~4배 이상의 생산성을 확보하게 된 것이다. 국내 주요 반도체 양산라인은 물론 대만과 일본, 유럽, 미국 등의 주요 반도체 회사에 공급돼 성공적인 양산 성과를 내고 있다.

세계적으로 인정받은 기술력

그렇다면 주성엔지니어링이 세계적인 기술력을 자랑하는 반도체 장비업체로 성장하게 된 비결은 뭘까. 설립자이자 대표이사를 맡고 있는 황 사장에게서 그 해답을 찾을 수 있다.

“인하대학교 전자공학과를 졸업한 황 사장은 대학 졸업 후 네덜란드 반도체 장비업체 ASM에 입사했다. 당시 기계의 설치 및 유지, 관리, 보수는 본사에서 나온 기술자에게만 허용되었지만 황 사장은 기계를 몰래 연구하다가 어느 날 고장 난 장비를 고치게 되었고, 이후 장비를 만질 수 있는 특권을 얻었다. 주성엔지니어링이 암묵적 지식이 요구되는 장비 산업에 뛰어들 수 있었던 것은 황 사장이 ASM에서 10년 동안 근무하면서 반도체 장비에 대한 노하우를 획득하여 창업을 준비했기 때문이다. …중략… 1993년 ASM이 한국에서 철수를 결정하자 황 사장은 독립을 결심했다. 1995년 ASM을 퇴직하여 주성엔지니어링을 창업하고 1년간의 개발 노력 끝에 1996년 ‘유레카 2000’을 개발해 최초로 저압화학증착장비(LP CVD)의 국산화에 성공했다. 꾸준한 연구 개발의 결과로 주성엔지니어링은 여러 가지 핵심기술을 확보했다. 그 중 하나는 1999년에 개발이 완료된 원자층증착장비(ALD)다. ALD는 반도체 제조공정 중 단원자층의 화학적 반응을 이용한 나노시대에 가장 적합한 박막증착기술이다. 주성엔지니어링은 후발주자로서 200배의 커다란 규모와 막강한 자본력, 브랜드 파워를 갖춘 미국과 일본 업체와 경쟁하기 위해 경쟁사가 점령한 기술보다는 새로 떠오르는 기술을 모색해 그것의 개발 노력에 집중한 위험축소 전략으로 추격에 성공했다.” -‘기업간 추격의 경제학’(이근 외 지음, 21세기북스, 2008)

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